| 設備編號 | 聯絡窗口 | 電子郵件 | 名稱 | 狀態 | 說明 | 註解 | 更新日期 |
| C05-DHF | 彭馨誼 |
hypeng@narlabs.org.tw
| RCA(爐管前清洗機)[Wet Bench-DHF] | IDLE | | 設備正常，開放使用中。 | 2024/09/08 07:00:00 |
| C05PR-BOE | 彭馨誼 |
hypeng@narlabs.org.tw
| PR(光阻去除及光罩清洗機)[Wet Bench-BOE] | IDLE | | 設備正常，開放使用中。 | 2024/09/08 07:00:00 |
| C05PR-SPM1 | 彭馨誼 |
hypeng@narlabs.org.tw
| PR(光阻去除及光罩清洗機)[Wet Bench-SPM1] | IDLE | | 設備正常，開放使用中。 | 2024/09/08 07:00:00 |
| C05PR-SPM2 | 彭馨誼 |
hypeng@narlabs.org.tw
| PR(光阻去除及光罩清洗機)[Wet Bench-SPM2] | IDLE | | 設備正常，開放使用中。 | 2024/09/08 07:00:00 |
| C05-SC1 | 彭馨誼 |
hypeng@narlabs.org.tw
| RCA(爐管前清洗機)[Wet Bench-SC1] | IDLE | | 設備正常，開放使用中。 | 2024/09/08 07:00:00 |
| C05-SC2 | 彭馨誼 |
hypeng@narlabs.org.tw
| RCA(爐管前清洗機)[Wet Bench-SC2] | IDLE | | 設備正常，開放使用中。 | 2024/09/08 07:00:00 |
| C05-SPM | 彭馨誼 |
hypeng@narlabs.org.tw
| RCA(爐管前清洗機)[Wet Bench-SPM] | IDLE | | 設備正常，開放使用中。 | 2024/09/08 07:00:00 |
| C06-01 | 劉信良 |
kentliu@narlabs.org.tw
| 6"後段化學清洗蝕刻工作站[Wet Bench_backend-SC1] | IDLE | | 設備開放正常使用中. | 2024/09/08 07:00:00 |
| C06-02 | 劉信良 |
kentliu@narlabs.org.tw
| 6"後段化學清洗蝕刻工作站[Wet Bench_backend-SC2] | IDLE | | 設備開放正常使用中. | 2024/09/08 07:00:00 |
| C06-03 | 劉信良 |
kentliu@narlabs.org.tw
| 6"後段化學清洗蝕刻工作站[Wet Bench_backend-BOE] | IDLE | | 設備開放正常使用中. | 2024/09/08 07:00:00 |