設備狀況查詢

設備編號聯絡窗口電子郵件名稱狀態說明註解更新日期
C05-DHF彭馨誼 hypeng@narlabs.org.tw RCA(爐管前清洗機)-DHFIDLE  2021/06/19 10:00:00
C05PR-BOE彭馨誼 hypeng@narlabs.org.tw PR(光阻去除及光罩清洗機)IDLE  2021/06/19 10:00:00
C05PR-METAL彭馨誼 hypeng@narlabs.org.tw PR(光阻去除及光罩清洗機)-METALIDLE  2021/06/19 10:00:00
C05PR-SPM1彭馨誼 hypeng@narlabs.org.tw PR(光阻去除及光罩清洗機)-SPM1IDLE  2021/06/19 10:00:00
C05PR-SPM2彭馨誼 hypeng@narlabs.org.tw PR(光阻去除及光罩清洗機)-SPM2IDLE  2021/06/19 10:00:00
C05-SC1彭馨誼 hypeng@narlabs.org.tw RCA(爐管前清洗機)-SC1IDLE  2021/06/19 10:00:00
C05-SC2彭馨誼 hypeng@narlabs.org.tw RCA(爐管前清洗機)-SC2IDLE  2021/06/19 10:00:00
C05-SPM彭馨誼 hypeng@narlabs.org.tw RCA(爐管前清洗機)-SPMIDLE  2021/06/19 10:00:00
C06-01劉信良 kentliu@narlabs.org.tw 6"後段化學清洗蝕刻工作站(SC1)IDLE  2021/06/19 10:00:00
C06-02劉信良 kentliu@narlabs.org.tw 6"後段化學清洗蝕刻工作站 (SC2)IDLE  2021/06/19 10:00:00
12345678910...
機台狀態說明:
IDLE:可用;MANUAL:自行操作;RUN:使用中;DOWN:機台維修、歲修;EXAM:考核中;TRAINING:儀器操作訓練;MONITOR:機台監控;PM:機台校正、例行維護;TEST:機台測試;