設備狀況查詢

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C05-DHF彭馨誼 hypeng@narlabs.org.tw RCA(爐管前清洗機)[Wet Bench-DHF]IDLE 設備正常開放使用.2024/05/27 08:00:00
C05PR-BOE彭馨誼 hypeng@narlabs.org.tw PR(光阻去除及光罩清洗機)[Wet Bench-BOE]IDLE 設備正常開放使用.2024/05/27 08:00:00
C05PR-SPM1彭馨誼 hypeng@narlabs.org.tw PR(光阻去除及光罩清洗機)[Wet Bench-SPM1]IDLE 設備正常開放使用.2024/05/27 08:00:00
C05PR-SPM2彭馨誼 hypeng@narlabs.org.tw PR(光阻去除及光罩清洗機)[Wet Bench-SPM2]IDLE 設備正常開放使用.2024/05/27 08:00:00
C05-SC1彭馨誼 hypeng@narlabs.org.tw RCA(爐管前清洗機)[Wet Bench-SC1]IDLE 設備正常開放使用.2024/05/27 08:00:00
C05-SC2彭馨誼 hypeng@narlabs.org.tw RCA(爐管前清洗機)[Wet Bench-SC2]IDLE 設備正常開放使用.2024/05/27 08:00:00
C05-SPM彭馨誼 hypeng@narlabs.org.tw RCA(爐管前清洗機)[Wet Bench-SPM]IDLE 設備正常開放使用.2024/05/27 08:00:00
C06-01劉信良 kentliu@narlabs.org.tw 6"後段化學清洗蝕刻工作站[Wet Bench_backend-SC1]MANUAL 設備開放正常使用中.2024/05/27 08:00:00
C06-02劉信良 kentliu@narlabs.org.tw 6"後段化學清洗蝕刻工作站[Wet Bench_backend-SC2]MANUAL 設備開放正常使用中.2024/05/27 08:00:00
C06-03劉信良 kentliu@narlabs.org.tw 6"後段化學清洗蝕刻工作站[Wet Bench_backend-BOE]MANUAL 設備開放正常使用中.2024/05/27 08:00:00
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機台狀態說明:
IDLE:可用;MANUAL:自行操作;RUN:使用中;DOWN:機台維修、歲修;EXAM:考核中;TRAINING:儀器操作訓練;MONITOR:機台監控;PM:機台校正、例行維護;TEST:機台測試;