設備狀況查詢

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C05-DHF彭馨誼 hypeng@narlabs.org.tw RCA(爐管前清洗機)-DHFIDLE 設備正常開放中.2023/06/01 06:00:00
C05PR-BOE彭馨誼 hypeng@narlabs.org.tw PR(光阻去除及光罩清洗機)IDLE 設備正常開放中.2023/06/01 06:00:00
C05PR-METAL彭馨誼 hypeng@narlabs.org.tw PR(光阻去除及光罩清洗機)-METALIDLE 設備正常開放中.2023/06/01 06:00:00
C05PR-SPM1彭馨誼 hypeng@narlabs.org.tw PR(光阻去除及光罩清洗機)-SPM1IDLE 設備正常開放中.2023/06/01 06:00:00
C05PR-SPM2彭馨誼 hypeng@narlabs.org.tw PR(光阻去除及光罩清洗機)-SPM2IDLE 設備正常開放中.2023/06/01 06:00:00
C05-SC1彭馨誼 hypeng@narlabs.org.tw RCA(爐管前清洗機)-SC1IDLE 設備正常開放中.2023/06/01 06:00:00
C05-SC2彭馨誼 hypeng@narlabs.org.tw RCA(爐管前清洗機)-SC2IDLE 設備正常開放中.2023/06/01 06:00:00
C05-SPM彭馨誼 hypeng@narlabs.org.tw RCA(爐管前清洗機)-SPMIDLE 設備正常開放中.2023/06/01 06:00:00
C06-01劉信良 kentliu@narlabs.org.tw 6"後段化學清洗蝕刻工作站(SC1)IDLE避免權限過期1/9(一)~1/16(一)廠務年度保養,設備配合停機中. 1/17(二)起,設備復機2023/06/01 06:00:00
C06-02劉信良 kentliu@narlabs.org.tw 6"後段化學清洗蝕刻工作站 (SC2)IDLE 1/9(一)~1/16(一)廠務年度保養,設備配合停機中. 1/17(二)起,設備復機2023/06/01 06:00:00
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機台狀態說明：
IDLE：可用；MANUAL：自行操作；RUN：使用中；DOWN：機台維修、歲修；EXAM：考核中；TRAINING：儀器操作訓練；MONITOR：機台監控；PM：機台校正、例行維護；TEST：機台測試；