設備編號 | 聯絡窗口 | 電子郵件 | 名稱 | 狀態 | 說明 | 註解 | 更新日期 |
C05-DHF | 彭馨誼 |
hypeng@narlabs.org.tw
| RCA(爐管前清洗機)-DHF | IDLE | | 設備正常開放中. | 2023/06/01 06:00:00 |
C05PR-BOE | 彭馨誼 |
hypeng@narlabs.org.tw
| PR(光阻去除及光罩清洗機) | IDLE | | 設備正常開放中. | 2023/06/01 06:00:00 |
C05PR-METAL | 彭馨誼 |
hypeng@narlabs.org.tw
| PR(光阻去除及光罩清洗機)-METAL | IDLE | | 設備正常開放中. | 2023/06/01 06:00:00 |
C05PR-SPM1 | 彭馨誼 |
hypeng@narlabs.org.tw
| PR(光阻去除及光罩清洗機)-SPM1 | IDLE | | 設備正常開放中. | 2023/06/01 06:00:00 |
C05PR-SPM2 | 彭馨誼 |
hypeng@narlabs.org.tw
| PR(光阻去除及光罩清洗機)-SPM2 | IDLE | | 設備正常開放中. | 2023/06/01 06:00:00 |
C05-SC1 | 彭馨誼 |
hypeng@narlabs.org.tw
| RCA(爐管前清洗機)-SC1 | IDLE | | 設備正常開放中. | 2023/06/01 06:00:00 |
C05-SC2 | 彭馨誼 |
hypeng@narlabs.org.tw
| RCA(爐管前清洗機)-SC2 | IDLE | | 設備正常開放中. | 2023/06/01 06:00:00 |
C05-SPM | 彭馨誼 |
hypeng@narlabs.org.tw
| RCA(爐管前清洗機)-SPM | IDLE | | 設備正常開放中. | 2023/06/01 06:00:00 |
C06-01 | 劉信良 |
kentliu@narlabs.org.tw
| 6"後段化學清洗蝕刻工作站(SC1) | IDLE | 避免權限過期 | 1/9(一)~1/16(一)廠務年度保養,設備配合停機中. 1/17(二)起,設備復機 | 2023/06/01 06:00:00 |
C06-02 | 劉信良 |
kentliu@narlabs.org.tw
| 6"後段化學清洗蝕刻工作站 (SC2) | IDLE | | 1/9(一)~1/16(一)廠務年度保養,設備配合停機中. 1/17(二)起,設備復機 | 2023/06/01 06:00:00 |